環境・エネルギー、健康・医療分野では、3次元自由曲面に装着可能な大面積フレキシブルシートデバイスの実現が望まれていますが、その製造では、真空プロセス装置の大型化の限界、基板の大面積化の限界など、コスト・機能面での問題が顕在化してきています。

BEANSプロジェクトでは、非真空装置による機能膜形成プロセス技術、繊維状基材連続微細加工、及び製織による集積化プロセス技術に着目し、想定した出口デバイス（装置）（大面積シリコンデバイス、繊維状基材への連続成膜装置、連続インプリント装置など）に要求される仕様等を目標値に設定、装置試作・デバイス検証を通して、大型真空装置や大面積基板を用いずに高機能メーター級デバイスを製造する基盤プロセスを確立しました。

BEANS成果の継続的な社会への還元を目指し、特に国民の喫緊のニーズに対応するグリーンイノベーションに焦点を当て、さらに、世界的なオープンイノベーション拠点形成の動きに対処しました。

つくばイノベーションアリーナ内に、量産試作検証を可能とし、プロセスのグリーン化と製造施設のグリーン化を追求した低環境負荷型MEMSラインを構築しました。