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 BEANS特許権等リスト (平成27年1月現在)

<BEANS技術分野>
バイオ融合プロセス技術
3次元ナノ構造形成プロセス技術
マイクロ・ナノ構造大面積連続製造プロセス技術 
有機材料融合プロセス技術
高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセス
モデリング シミュレーション
その他

  
バイオ融合プロセス技術
  • 次世代の健康・医療分野に向けたデバイス開発には、従来のシリコンやガラス材料に加え、生体分子、細胞組織、及び微生物などのバイオ材料の持つ特異的な機能を活かす融合プロセスが不可欠です。

  • BEANSプロジェクトでは、バイオ材料のナノ界面融合プロセス技術、及び高次構造形成プロセス技術に着目して、想定した出口デバイス(脂質二重膜一分子検出センサ、埋込み/装着型血糖値センサ、肝細胞組織培養デバイスなど)に要求される仕様等を目標値に設定し、デバイス試作・機能検証を通して、バイオ材料をデバイス内で機能する素子として扱えるように加工する基盤プロセスを確立しました。

 当該分野の成果詳細 [PDF]
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公開番号/特許番号  発明の名称
特許5380174号 蛍光ハイドロゲルビーズおよびそれを用いた体内埋め込み用の糖類測定用センサー
特許5198369号 人工脂質二重膜を用いた電流計測装置
特許5177774号 細胞の3次元階層的共培養法
WO2012/098942
微細構造ゲルの製造方法
特開2012-092326
蛍光ハイドロゲルおよびその製造方法、ならびにそれを用いた糖類測定用センサー
特開2013-226112 肝細胞の培養方法
特開2014-187971 肝細胞培養基板及び肝細胞培養方法
特開2014-040443 蛍光ハイドロゲルビーズおよびそれを用いた体内埋め込み用の糖類測定用センサー
特開2014-030382 マイクロ流体デバイスおよび脂質二重膜の形成方法
特開2014-038066 マイクロ液体デバイスシステム及び脂質二重膜の形成方法
特開2014-161821 脂質二重膜デバイス、脂質二重膜デバイスアレイ、脂質二重膜デバイス製造装置及び脂質二重膜デバイスの製造方法
特開2015-2684 マイクロ液体デバイスシステム、脂質二重膜形成デバイス、及びマイクロ液体デバイスシステムの制御方法
  未公開 1件
 
3次元ナノ構造形成プロセス技術
  • 安全・安心・健康な社会を実現する上で、様々なマイクロデバイスの感度向上、省電力化、自立電源化、及び情報通信・記録の大容量化が求められています。

  • BEANSプロジェクトでは、ナノレベルでのエッチング、粒子配列、ナノ構造修飾・被覆、及びナノ構造形成等の加工技術に着目し、想定した出口デバイス(バイオ分析チップ、プローブ顕微鏡CNT探針、高感度多孔質ガスセンサなど)に要求される仕様等を目標値に設定、デバイス試作・機能検証を通して、シリコン・ガラス等の3次元構造にナノ構造材料を集積し、特異的な機能を発現させる基盤プロセスを確立しました。

 当該分野の成果詳細 [PDF]
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公開番号/特許番号  発明の名称
特許5518406号 微粒子配列構造体及びその製造方法
特開2013-212967 ハニカム構造体、それを利用したガスセンサ、及びそれらの製造方法
特許5491147号 成膜方法及び成膜装置並びに積層膜
特許5558869号 MEMS
特許5007383号 MEMSメモリ用マイクロプローブ
特許5044685号 マイクロプローブ、記録装置、及びマイクロプローブの製造方法
特許5369209号 マルチプローブ、記録装置、及びマルチプローブの製造方法
WO2012/070490 微細孔の製造方法および微細孔を有する基体
WO2012/108316 微細孔を有する基体の製造方法、及び基体
WO2012/161317 微細孔を配した基体の製造方法、及び微細孔を配した基体
WO2013/002339 脂質膜を形成するための基体、及び該基体の製造方法
特開2013-019779 プローブ及びその製造方法
特開2013-147378 多層構造体及びその製造方法
WO2013/031912 基体、及び分析方法
特開2013-215668 マイクロ・ナノフィルタ
特開2013-215767 微細構造体の形成方法
特開2013-215766 微細構造体の形成方法
WO2011/096353 微細構造の形成方法および微細構造を有する基体
WO2011/096356 表面微細構造の形成方法および表面微細構造を有する基体
WO2012/008577 基体、及び基体の製造方法
特許5424730 光学フィルターの製造方法
特開2014-138216 電気機械フィルタデバイス
特開2014-138970 基体
特開2014-228319 ドロップレット生成装置
特開2014-178293 マイクロプローブおよびマイクロプローブの製造方法
特開2014-173946 ガスセンサ
特開2014-173947 多孔構造体、多孔構造体の製造方法およびガスセンサ
特開2014-052237 ガスセンサ、ガス測定装置、及びガスセンサの製造方法
特開2014-052238 プローブ作製装置及びプローブ作製方法
 
有機材料融合プロセス技術
  • 次世代の環境・エネルギー分野に向けたデバイス開発には、従来のシリコンを中心とする無機材料に加え、有機半導体等の合成有機分子に代表される有機材料の持つ特異的な機能を活かす融合プロセスの研究開発が不可欠です。
  • BEANSプロジェクトでは、有機材料のナノ界面融合プロセス技術、及び高次構造形成プロセス技術に着目して、想定した出口デバイス(高効率有機薄膜太陽電池、高効率有機熱電変換フィルムなど)に要求される仕様等を目標値に設定、デバイス試作・機能検証を通して、分子配向制御、結晶制御など、有機材料を分子レベルで加工する基盤プロセスを確立しました。

当該分野の成果詳細 [PDF]
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公開番号/特許番号  発明の名称
特許5469358 有機トランジスタ
特許5534506 低閾値有機逆過飽和吸収材料
特許5557382 液晶性有機半導体ポリマー、その製造方法及び有機ナノポーラス材料
特開2012-174813 熱電変換材料及びその製造方法
特開2012-209151 有機EL素子およびその製造方法
特開2013-183088 ナノ構造を有する基板を用いた熱電変換材料及びその製造方法
特許5128728 リン光発光材料、リン光発光材料の製造方法、及びリン光発光素子
特許5625140 有機発光材料、有機発光材料の製造方法、及び有機発光素子
特開2014-175479 有機発光材料、有機発光材料の製造方法、及び有機発光素子
 
マイクロ・ナノ構造大面積連続製造プロセス技術
  • 環境・エネルギー、健康・医療分野では、3次元自由曲面に装着可能な大面積フレキシブルシートデバイスの実現が望まれていますが、その製造では、真空プロセス装置の大型化の限界、基板の大面積化の限界など、コスト・機能面での問題が顕在化してきています。

  • BEANSプロジェクトでは、非真空装置による機能膜形成プロセス技術、繊維状基材連続微細加工、及び製織による集積化プロセス技術に着目し、想定した出口デバイス(装置)(大面積シリコンデバイス、繊維状基材への連続成膜装置、連続インプリント装置など)に要求される仕様等を目標値に設定、装置試作・デバイス検証を通して、大型真空装置や大面積基板を用いずに高機能メーター級デバイスを製造する基盤プロセスを確立しました。

当該分野の成果詳細 [PDF]
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公開番号/特許番号  発明の名称
特許5565788 電鋳モールドパターンの作製方法
特許5268804 ミストジェット式記録ヘッド
特開2013-212640 液体噴出装置とその製造方法およびノズルプレートの製造方法
特許5224395 MEMSベースの露光モジュール及び関連技術
特許5339149 繊維状基材及び機能性フレキシブルシート
特許5245167 自己組織化膜作製法
特許5627560 微粒子製造塗布装置、微粒子塗布方法および微粒子含有薄膜
特許5511555 大気圧プラズマ処理装置
特許5582531 エレクトロニクステキスタイル用接点構造及びその製造方法
特開2013-147767 電子部品実装用織地、電子部品実装体及びそれを用いた布帛
特許5645114 転写装置および転写方法
特開2013-214413 プラズマ生成装置
特許5456049 プラズマ生成装置
特許5638631 大気圧プラズマ処理装置および大気圧プラズマ処理方法
特開2013-247234 大気圧プラズマ処理装置および薄膜形成方法
特開2014-053136 大気圧プラズマ処理装置
特開2014-063874 大気圧プラズマ成膜装置
特開2014-118307 半導体粒子の製造方法及び製造装置
特開2013-233761 転写装置および転写方法
特開2013-233511 塗膜材塗布装置、長尺部材への塗膜材の塗布方法
特許5667226 薄膜形成方法及び薄膜形成装置
特開2014-210216 塗膜材塗布装置、長尺部材への塗膜材の塗布方法
特開2014-210217 塗膜材塗布装置、長尺部材への塗膜形成方法
 
高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセス
  • BEANS成果の継続的な社会への還元を目指し、特に国民の喫緊のニーズに対応するグリーンイノベーションに焦点を当て、さらに、世界的なオープンイノベーション拠点形成の動きに対処しました。

  • つくばイノベーションアリーナ内に、量産試作検証を可能とし、プロセスのグリーン化と製造施設のグリーン化を追求した低環境負荷型MEMSラインを構築しました。

当該分野の成果抜粋 [PDF]
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公開番号/特許番号  発明の名称
特開2012-189492 パーティクルカウンタ
特開2012-189493 粒子検出器
特開2012-187674 マイクロ構造の製造方法、マイクロ構造体、受光素子及び粒子検出器
特開2012-227440 シリコン基板のエッチング方法、及びシリコン基板のエッチング装置
特開2013-120800 半導体装置の製造方法、半導体エッチングプロセスにおける計測方法
特開2014-006418 アクチュエータ
 
モデリング シミュレーション
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公開番号/特許番号  発明の名称
特開2012-181669 素子解析システム、素子解析方法及び素子解析プログラム

その他
公開番号/特許番号をクリックするとデーターシート[PDF] が開きます
公開番号/特許番号  発明の名称
特開2014-053411 エピタキシャルウェハ及びその製造方法
特開2014-053412 エピタキシャルウェハ及びその製造方法、紫外発光デバイス
特願2013-109015 光検出器
 
 

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